隨著全球經濟的發展，低溫等離子設備的污染日益嚴重，各種污染層出不窮，嚴重危害人類的健康和。為了人類自身的***，問題的處理迫在眉睫。近年來，出現了許多處理工業廢氣污染的技術，如超聲波法、光催化氧化法、生物法、冷凍法、焚燒法等。其中低溫等離子體是一種處理有毒、有害、難降解物質效率高、能耗低、處理能力***、操作簡單的新型環保技術。廢氣凈化設備是近年來的一項重***科技，相對于其他方法具有******勢。

　　低溫等離子體技術有著廣泛的應用。氣體流速和濃度是影響氣體污染物處理技術的兩個重要因素。生物過濾和燃燒技術可以在高濃度下使用，但受氣體流速的。低溫等離子體技術在氣體流速和濃度方面有著廣泛的應用。等離子體技術很簡單。吸附方法應考慮定期更換吸附劑，在脫附過程中可能造成二次污染。燃燒法要求較高的工作溫度;生物法嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適應微生物的生長。低溫等離子體技術克服了上述技術的不足。反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，廢氣凈化設備可同時消除混合污染物(有的具有協同作用)，不會產生二次污染。在經濟可行性方面,低溫等離子體反應設備本身一個系統結構緊湊,在運營成本方面,微觀,由于放電過程只提高電子溫度和離子溫度基本保持不變,這個反應系統是保持低溫,廢氣凈化設備所以不僅能量利用率高,并使設備成本低。

　　低溫等離子體技術在處理氣態污染物方面具有顯著***勢。基本原理是在電場的加速度作用下產生高能電子。當電子的平均能量超過目標物質的化學鍵能量時，鍵被，以消除氣態污染物。

　　中的電子***先從電場中獲得能量，然后通過激發或電離將能量傳遞給或原子。獲得能量的或原子被激發，一些被電離，從而成為活躍的基團。然后，這些反應基團與或原子碰撞，產生穩定的產物和熱。此外，高能電子也可被具有強電子親和力的物質如鹵素、氧等捕獲為負離子。這些陰離子具有******的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。